Author Affiliations +
Young Sung Kim,1 JongHyun Lee,1 SangHyun Lee,1 Kwangseok Maeng,1 JaeHyoung Kim,1 InSung Kim,1 SungWoon Uh,1 Eric Janda,2 Ajinkya Patil,2 SuYeun Baek,3 SeongYong Cho,3 James Lee3
1Samsung Electronics Co., Ltd. (Korea, Republic of)
2ASML Netherlands B.V. (Netherlands)
3ASML Korea Co., Ltd. (Korea, Republic of)